Ko te anga arataki IC he hangarau hanga papa ara iahiko e hono ana i nga waea me nga waahanga hiko ma te arataki whakarewa.Kei te whakamahia nuitia tenei hangarau i roto i te hanga iahiko whakauru (IC) me nga papa taiawhio taia i roto i nga taputapu hiko.Ma tenei tuhinga e whakaatu te tono me nga painga o nga papa arahi IC, me te torotoro i te whakamahinga me te whakamahinga o te whakaahua whakaahua i roto i te hanga anga arahi IC me nga rauemi i whakamahia.
Tuatahi, ko te anga arahi IC he hangarau tino whai hua ka taea te whakapai ake i te pumau me te pono o nga taputapu hiko.I roto i te hangahanga IC, ko nga papa arahi he tikanga honohono hiko pono e whakarite ana kia hono tika nga waahanga hiko i runga i te poari ara iahiko ki te maramara matua.I tua atu, ka taea e nga papa arahi IC te whakapai ake i te pono o nga papa taiawhio na te mea ka taea e ratou te hanga i nga papa taiawhio kia nui ake te kaha miihini me te pai ake o te aukati waikura.
Tuarua, ko te photolithography he hangarau e whakamahia nuitia ana mo te hanga papa arahi IC.Ko tenei hangarau i ahu mai i te tukanga whakaahua whakaahua, e hanga ana i nga papa mata ma te tuku i nga kiriata angiangi whakarewa ki te marama, katahi ka werohia ki te otinga matū.Ko te hangarau Photolithography nga painga o te tino tika, te tino pai, me te utu iti, no reira kua whakamahia nuitia i roto i te hanga anga arahi IC.
I roto i te hanga anga arahi IC, te rauemi matua whakamahia he kiriata angiangi whakarewa.Ko te kiriata angiangi whakarewa ka taea te parahi, te konumohe, te koura ranei, me etahi atu mea.Ko enei kiriata whakarewa angiangi ka mahia e te waipara kohu tinana (PVD) me nga tikanga whakamaarama matū (CVD).I roto i te hanga anga arataki IC, ka whakakikoruatia enei kiriata angiangi whakarewa ki runga i te papa taiawhio, katahi ka taraihia e te hangarau whakaahua whakaahua hei hanga papa mata pai.
Hei mutunga, he mahi nui te hangarau anga arataki IC ki nga taputapu hiko hou.Ma te whakamahi i te hangarau whakaahua whakaahua me nga taonga kiriata angiangi whakarewa, ka taea te hanga i te tino tika, te tino pai, me te utu iti.Ko te painga o tenei hangarau ka taea e ia te whakapai ake i te pono me te pumau o nga taputapu hiko, na reira ka whai waahi ki te whakawhanaketanga o nga hangarau hiko hou.
Wā tuku: Feb-28-2023